上海茂鑫實業
Shanghai Maoxin industry專注光學儀器
德國徠卡LEICA顯微鏡尼康株式會社的工業計量業務部門近期發布了自動晶圓測量系統NEXIV VMZ-NWL 200,以解決半導體后端工藝中晶圓計量的挑戰,傳統上手動執行的工作多于前端過程控制。因此,NEXIV VMZ-NWL 200 的主要目標市場是以后端半導體制造工藝為中心的測量。
NEXIV VMZ-NWL 200 緩解了手動測量熟練技術人員的短缺。半導體行業沿著小型化的道路發展,這提高了測量所需的技能水平,并減少了可用的工程師數量。另一方面,半導體市場繼續擴大,因此越來越多的計量機會被提供給越來越少的人。因此,使用傳統光學顯微鏡的手動測量已達到極限。
NEXIV VMZ-NWL 200 是一種根據測量程序自動測量載體中保存的 6 英寸或 8 英寸晶圓的系統。NEXIV的可靠性和使用NWL的穩定晶圓加載確保了測量的高重復性。該系統允許使用專用軟件直觀地選擇要測量的芯片。因此,任何人都可以以高度的可靠性獲得所需的芯片測量結果。此外,還可以跟蹤測量的時間和程序,有助于提高可追溯性。
該系統在設計時考慮到了安全性,并提供了保護蓋,以防止因操作員錯誤而造成的損壞。操作符合 SEMI 國際標準 S2、S8 和 F47。
關于尼康計量
尼康基于公司 100 多年歷史中積累的先進光電子和精密技術,在全球范圍內提供各種產品、服務和解決方案。該集團繼續創造新的價值,以各種形式為提高生活質量和制造業做出貢獻。尼康的工業計量業務部 (IMBU) 提供集成、優化的超高精度解決方案,這些解決方案不僅具有定制性和成本效益,而且在實施后立即運行良好。在尼康數字制造旗下的最新發展是IMBU與公司數字解決方案業務部門(DSBU)之間更緊密的合作,該部門推出了一系列光學增材和減材制造解決方案,用于加工各種亞微米表面光潔度的材料。